GaN纳米线的制备及在纳米发电机领域的应用

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氮化镓(GaN)纳米材料具有宽带隙,高热导率,稳定的化学性质,较大的饱和电子漂移速度等优良特点,它是Ⅲ-Ⅴ族半导体的代表。这些优良的特点使GaN纳米材料可以广泛的应用于高亮度LED、蓝光激光器、紫外探测器、大功率耐热器件。此外,由于非极性GaN材料可以消除压电极化氮化物发光器件辐射复合效率和发射波长蓝移。制备非极性氮化镓材料,氮化镓材料,已经成为一个新的研究重点。本论文采用化学气相沉积法(CVD),在硅(Si)和蓝宝石(Al2O3)衬底上制备了一维GaN纳米线,系统研究了GaN纳米线的生长机制、微结构及元素组成,并在此基础上开展了可利用电磁辐射能发电的新型GaN纳米发电机的研究,研究在GaN纳米线制备参数及应用上都取得了一些新进展。研究结果为我们下一步开展GaN纳米线器件组装及应用都打下了坚实的实验基础。本论文主要工作及结果如下:第一,采用CVD生长法,以金为催化剂,分别在硅(Si)和蓝宝石(Al2O3)衬底上制备了一维GaN纳米线阵列,研究了生长温度及原料配比对生长的GaN纳米线微结构、元素配比及特性的影响,实验结果表明Al2O3衬底易于GaN纳米线阵列的生长,生长的GaN纳米线多为棒状,其晶格匹配较好,纳米线表面光滑,结构中缺陷较少,生长的GaN纳米线为六角纤锌矿结构,纳米线的直径约为600nm,长度约为8-12μm;Si衬底上生长的纳米线低温下呈棉絮状,较高温度下呈鱼骨状,生长的GaN纳米线杂乱无序,线的长度随温度的升高而增加,平均直径约为170nm-200nm,长度可达几十至上百微米,随着纳米线长度的变长,GaN纳米线易于倾倒,导致基片上GaN纳米线杂乱无序。研究表明,1000℃下生长的GaN纳米线质量最好。第二,XRD分析结果表明,采用CVD生长方法制备的GaN纳米线,有三个主要的20衍射峰,分别对应于GaN的六角纤锌矿结构的(100)、(002)和(101)晶面,XRD衍射峰中还发现了金催化剂(111)晶面的特征峰。经比较可知,在Al2O3衬底上生长的GaN纳米线各特征谱峰强度较Si衬底上生长的纳米线更强,由此可知,Al2O3衬底上更利于GaN纳米线的生长,这是由于GaN纳米材料与Al2O3的晶格匹配度更高决定的。PL谱图分析表明,在不同条件下生长的GaN纳米线,PL谱图总体变化趋势基本相同,其PL谱图在530nm附近均出现一个较强的黄光发射峰,该发光峰与深能级杂质及深能级缺陷有关,一般认为是由导带或浅施主到深能级间的跃迁引起的。第三,采用CVD法在Si衬底上制备生长的GaN纳米线阵列,使用不同金属(Cu,Al)电极作为接触电极组装了一种新型纳米发电机,该发电机可将电磁辐射信号转换成电信号并输出电流。经研究分析,发现这种纳米线发电机的发电原理为电磁信号经连接纳米线与金属电极的连线组成的对称阵子天线将耦合到其上的电磁辐射信号转换成交流电,另一方面GaN线与金属接触电极之间形成的肖特基结形成一个可使电流单向导通的肖特基势垒,将周期性变化交流电信号转变为直流电流输出。研究表明,电磁辐射信号源与纳米发电机距离的远近直接影响电流信号的大小,相同距离下,电磁信号源辐射功率越大,产生电流就越大。实验发现,Cu金属电极组装的GaN纳米发电机产生的电流强于其他金属电极制作的纳米发电机。
摘要第4-6页
Abstract第6页
目录第7-9页
第一章 绪论第9-20页
    1.1 纳米材料的研究现状第9-10页
    1.2 GaN材料的研究进展第10-11页
    1.3 GaN的基本性质第11-13页
        1.3.1 物理性质第11-12页
        1.3.2 化学性质第12页
        1.3.3 光学性质第12页
        1.3.4 电学性质第12-13页
    1.4 GaN基纳米材料的研究进展与应用第13-16页
        1.4.1 GaN材料的应用研究现状第13-14页
        1.4.2 高功率高温电子器件的应用第14-15页
        1.4.3 GaN基纳米材料在纳米发电机的应用第15-16页
    1.5 GaN纳米材料的制备方法第16-18页
        1.5.1 GaN纳米线的制备方法第16页
        1.5.2 气相沉积法第16页
        1.5.3 分子束外延(MBE)技术第16-17页
        1.5.4 模板生长法第17-18页
    1.6 本论文选题的研究内容以及意义第18-20页
第二章 GaN纳米线的制备及特性分析第20-24页
    2.1 GaN纳米线的生长机理第20页
    2.2 GaN纳米线的制备第20-21页
        2.2.1 基底的制备第20页
        2.2.2 蒸镀催化剂薄膜第20-21页
    2.3 GaN纳米线的制备第21页
    2.4 GaN纳米线的分析方法第21-22页
        2.4.1 X射线衍射(XRD)原理第21-22页
        2.4.2 扫描电子显微镜(SEM)原理第22页
        2.4.3 荧光光谱(PL)原理第22页
    2.5 表征与测试第22-24页
第三章 GaN纳米线微结构、光学及电学特性研究第24-29页
    3.1 结果与讨论第24-28页
        3.1.1 XRD分析第24-25页
        3.1.2 FESEM分析第25-27页
        3.1.3 PL分析第27-28页
    3.2 小结第28-29页
第四章 利用电磁感应发电的新型GaN纳米发电机的研究第29-36页
    4.1 微/纳米发电机的组装第29页
    4.2 测试与分析第29-30页
    4.3 Cu金属电极的GaN发电机输出电流第30页
    4.4 电磁信号与纳米电机距离对输出电流的影响第30-32页
    4.5 不同金属电极第32-33页
    4.6 GaN纳米线发电机的可能发电原理第33-34页
    4.7 GaN纳米发电机的特点和应用领域第34页
    4.8 小结第34-36页
第五章 结论第36-37页
参考文献第37-39页
致谢第39页
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